SAL1000G是一款包含手套箱小型桌面ALD原子層沉積系統(tǒng)，具有良好的均勻性及*的階梯覆蓋性能，使用戶能夠精確控制每個(gè)原子層的沉積。通過手套箱，可在惰性氣體環(huán)境下進(jìn)行操作，并且可以防止吸入納米級顆粒。該設(shè)備是小型且經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的型號，與主機(jī)和控制電源相結(jié)合，追求僅在桌面上更容易操作。它能夠處理多達(dá)4“晶圓的沉積，并對每個(gè)部件采取安全措施。

產(chǎn)品型號：SAL1000G

更新時(shí)間：2024-11-07

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

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產(chǎn)品介紹

SAL1000G原子層沉積系統(tǒng)特點(diǎn)：

- 多樣性 -

· 真空可移動的手套箱可以處理易氧化的樣品。

· 前驅(qū)體標(biāo)配兩組閥門和氣瓶。

· 可選擇將前驅(qū)體加熱至200攝氏度。

· 可選擇基片自動旋轉(zhuǎn)支架。

· 可選擇粉體沉積配件。

· 可選擇經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的廢氣處理設(shè)備。

- 表現(xiàn) -

· 保證基片表面上的每個(gè)均勻原子層針孔自由層沉積。

· 通過階梯覆蓋沉積在不均勻或3D形狀的表面。

· 與CVD和PVD相比，可以獲得更好的沉積，特別是對于具有更高縱橫比和多孔沉積材料。

- 操作界面友好 -

· 觸摸屏使用戶可以輕松設(shè)置配方或沉積過程，并檢查每個(gè)驅(qū)動系統(tǒng)的運(yùn)動。

· 可進(jìn)行自動沉積，并在沉積完成后自動完成N2排放。

· 手套箱的真空排氣和惰性氣體的引入也可自動完成。

- 安全性 -

· 這是具有各種互鎖功能的高級設(shè)備。

- 具有輕柔關(guān)閉功能的頂部艙口使用戶可以輕松地裝載和卸載基片。

SAL1000G原子層沉積系統(tǒng)技術(shù)參數(shù)：

性能
真空度		到達(dá)壓力	≤5Pa
成膜性能		膜厚分布	≤± 3% （φ 100mm）
設(shè)備構(gòu)成
設(shè)備型號		SAL1000G
成膜方向		下表面
基底尺寸		φ 100mm or 4 inch Max
基底加熱器溫度		350℃ Max
前驅(qū)體數(shù)		2
前驅(qū)體溫度		150℃ Max
凈化氣體		N2 （氣體控制：帶流量計(jì)針型閥）
手套箱		有機(jī)玻璃，真空-氮?dú)獯祾呤?/span>
真空泵		162L/min 旋片式真空機(jī)械泵
重量		本體：50kg，手套箱：35kg，真空泵：27kg
可選配置		基片自動旋轉(zhuǎn)支架粉體沉積配件廢氣處理設(shè)備前驅(qū)體加熱器- 200℃
安裝要求
電源要求	電源	3相、 200V ± 10% 、15A 、50/60Hz
	接地	＜100Ω
	線纜	5m 附贈
N2吹掃氣體	供給壓力	0.1 ~.0.2Mpa
	接口	1/4 Swagelok
壓縮空氣	供給壓力	0.6 ~0.8Mpa
	接口	φ6mm 接口
真空泵排氣口	排氣口	KF-25法蘭
設(shè)備排氣口	排氣口	φ38mm x L28軟管適配器
安裝尺寸		W1000 x D700 x H900